微波平面電路網(wǎng)絡(luò)S參數(shù)測試校準(zhǔn)方法的研究.pdf

1、西安電子科技大學(xué)學(xué)位論文獨創(chuàng)性(或創(chuàng)新性)聲明秉承學(xué)校嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膶W(xué)風(fēng)和優(yōu)良的科學(xué)道德，本人聲明所呈交的論文是我個人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝中所羅列的內(nèi)容以外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果；也不包含為獲得西安電子科技大學(xué)或其它教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中做了明確的說明并表示了謝意。申請學(xué)位論文與資料若有不實之處，

2、本人承擔(dān)一切的法律責(zé)任。本人簽名：釁西安電子科技大學(xué)關(guān)于論文使用授權(quán)的說明本人完全了解西安電子科技大學(xué)有關(guān)保留和使用學(xué)位論文的規(guī)定，即：研究生在校攻讀學(xué)位期間論文工作的知識產(chǎn)權(quán)單位屬西安電子科技大學(xué)。學(xué)校有權(quán)保留送交論文的復(fù)印件，允許查閱和借閱論文；學(xué)?？梢怨颊撐牡娜炕虿糠謨?nèi)容，可以允許采用影印、縮印或其它復(fù)制手段保存論文。同時本人保證，畢業(yè)后結(jié)合學(xué)位論文研究課題再撰寫的文章一律署名單位為西安電子科技大學(xué)。(保密的論文在解密后遵守此

3、規(guī)定)本人簽名：導(dǎo)師簽名：量域燃)日期：至型l!墨，!1日期：幽：3：llZ摘要準(zhǔn)確地測量微波集成電路及高速器件的高頻特性，是微波集成電路與器件發(fā)展的重要條件。傳統(tǒng)的測試方法是把芯片封裝后放在測試盒中進(jìn)行測試，由于封裝的影響，無法精確地得到集成電路及其器件的高頻性能。微波在片測試技術(shù)的出現(xiàn)解決了這一難題。應(yīng)用微波在片測試技術(shù)，在半導(dǎo)體芯片封裝之前，直接在芯片上對集成電路和器件進(jìn)行高頻性能測試，實現(xiàn)在片篩選，提高了微波半導(dǎo)體工業(yè)的生產(chǎn)效率

4、。本文主要研究了用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀與微波探針臺測量在片器件的問題。首先從矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的測量體系結(jié)構(gòu)入手，分析測量過程中的誤差來源與描述方法，介紹誤差修正理論的基本原理。通過對TRL校準(zhǔn)方法原理的分析與公式推導(dǎo)，分析了TRL校準(zhǔn)方法的本質(zhì)，并編制了相應(yīng)的TRL校準(zhǔn)程序。根據(jù)微波探針的尺寸和所需要測量的頻率范圍設(shè)計了對應(yīng)的TRL校準(zhǔn)件，并對TRL校準(zhǔn)方法中多條延遲線的選取問題做了一些探討。最后，用PC機(jī)、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和微波探針臺搭建了在片