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1、北京化工大學(xué)碩士學(xué)位論文甩膠噴霧熱分解方法制備BaTiO薄膜及其介電性能研究姓名:王芳平申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):材料科學(xué)與工程指導(dǎo)教師:武光明20100603摘要貌都有一定的影響,制備薄膜的最佳條件:襯底溫度150℃,噴嘴距離為20mm,載氣流量為1L/min,退火溫度700℃,升溫速度5/min,保溫60rain,轉(zhuǎn)速4000r/min。經(jīng)過(guò)700。C熱處理,薄膜在1KHz頻率,293K溫度測(cè)試條件下,相對(duì)介電常數(shù)為198,并且介電常
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