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1、天津大學碩士學位論文離子摻雜對BaTiO基介質(zhì)MLCC電性能影響的研究姓名:易可申請學位級別:碩士專業(yè):微電子學與固體電子學指導教師:包興20021201ABSTRACTWiththedevelopmentol’SMT(SurfaceMountingTeclmology),theelectroniccomponenttendedtObesheet,theMLCC(MultilayerCeramicCapacitor)ismostacti
2、vefieldInthematerialsusedfordielectricofMLCC,Ba’1、i03basedceramicisoneofthemostwidelyusedlow—frequencehighpermittivityinceramiccapacitorsdueIoitsexcellentpropertiesButmustbesinteredinairtopreventthesemiconductingproperti
3、escausedbypartialreductionofTi4toTi”moveoverhighertemperatureisrequiredSowhenBa711i03basedCeramicwasusedasdielectricsofMLCC,wecarlnotsignificantlydecreasethecostofMLCCbyusingbasedmetalaselectrodesinplaceofnobelmetal(PdAu
4、etc、BaTi03baseantireductionceramicwasresearchedinthispaperWediscussedtheeffectsofdopingseveraloxidesonthedielectricpropertiesandantireductionabilityofBaTi03baseceramicMechanismofantireduction“wasalsoinvestigatedfromtheba
5、lanceofimperfectionreactionWefoundthataddingproperamountofZr02couldincreasethebindingenergyofoxygeninthelatticeSOastoinhibitdonorsofoxygenvacanciesAddingproperamountofMn02cabringaboutsomeacceptorsimperfectioninthelattice
6、,whichcallinhibitthereductionofTi4SOastoincreasetheinsulatingresistivityoftheceramicwhensinteringinlowoxygencontentLightlydeviationoftheratioofBa2andTi4fromthestoichiometr3,(Ba/Ti41、wasfoundfavourabletoimprovetheantiredu
7、ctionabilityduetomoreacceptorsofCnjnandMnI,willgenerateinthelatticeThroughtheresearchofrelevantimperfectionreactionwefoundtherelationbetweentheconcentrationofelectronsnandacceptors[MnTr】canbedescribedinfixedquantityasn“(
8、(Mn;,】)。1“MeanwhilecuriepointwasshiftedtowardslowtemperaturebyaddingproperamountofSrOandZr02,and£willincreasetosomecontentduetotheoverlappingeffectAddingproperamountofNb205couldeffectivelyinhibitthegraingrowthanddecrease
9、thechangingrateof£Underconditionoftheproperprocessandcompositions,wegotBaTi03baseantireductionceramicwhichCanbesinteredinneutralatmosphereandcorrespondwiththepropertiesofEandFlevelKeywords:MLCC,Bariumtitanatebaseddielect
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