材料表面污染物檢測(cè)的實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、真空系統(tǒng)中使用的各種材料，由于加工、清洗、裝配、運(yùn)行過(guò)程中存在有機(jī)物殘留，使得材料表面有污染物質(zhì)。這些污染物質(zhì)在真空中會(huì)再次脫附釋放出來(lái)，釋放出來(lái)的污染物有些漂浮在真空系統(tǒng)中，導(dǎo)致系統(tǒng)潔凈度的下降;有些則沉積到系統(tǒng)內(nèi)壁或器件的表面，導(dǎo)致系統(tǒng)的污染和器件性能的下降。因此材料表面污染物的檢測(cè)具有重要意義。
　　本文首先介紹了材料表面污染物的常規(guī)檢測(cè)的方法，并進(jìn)一步詳細(xì)介紹了目前比較常用的幾種常溫常壓污染物檢測(cè)方法的基本原理和應(yīng)用，對(duì)比

2、了它們的優(yōu)點(diǎn)與不足;然后重點(diǎn)對(duì)大氣壓下進(jìn)樣的熱解吸方法進(jìn)行了系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)研究，主要探究了影響熱解吸方法的兩個(gè)關(guān)鍵因素:載氣的出口溫度和進(jìn)樣裝置的進(jìn)樣效率。通過(guò)對(duì)載氣出口溫度的研究，發(fā)現(xiàn)了載氣出口溫度散失的主要途徑并采取了相應(yīng)的保溫措施，目前載氣的出口溫度可以達(dá)到280℃左右。通過(guò)對(duì)進(jìn)樣裝置進(jìn)樣效率影響因素的研究，找到了目前進(jìn)樣裝置的最佳進(jìn)樣條件。
　　綜合考慮載氣的出口溫度和進(jìn)樣裝置的進(jìn)樣效率這兩個(gè)因素的影響，確定了目前實(shí)驗(yàn)的最佳進(jìn)