新型低插損高穩(wěn)定性SAWF仿真軟件的研制.pdf

1、SAWF（聲表面波濾波器）作為現代軍民用電子信號濾波處理的關鍵元器件，其設計涉及現代超聲學、無線電學、晶體科學、微電子學、薄膜科學、專用設備制造學等多學科知識。其精確理論分析是從基本波動方程和實際邊界條件出發(fā)，求系統(tǒng)場的精確解，過程非常復雜，使器件設計更加繁雜艱辛。
　　為此，本課題研究采用離散數字付氏變換和奇偶分解技術以及積木式組合技術，利用設計程序就可得到制版數據和掩膜版圖的仿真軟件。使用該軟件，通過輸入濾波器參數，可模擬出相

2、應的聲表面波濾波器掩膜版圖。另外，根據設計和實際需求，通過改變設計輸入參數，即可獲得實際所需的聲表面波濾波器光刻版圖，極大地降低了設計難度。
　　為得到具有實際指導意義的仿真軟件，在建立SPUDT（單相單向換能器）等效電路模型的基礎上，先利用我公司所掌握的現有設計軟件和數學模型對器件指標進行分析，根據產品的理想曲線推出其全時域上的脈響，重點編制變跡SPUDT、均勻SPUDT、MSC多條耦合器的計算軟件，并對軟件進行調試；其次借助編