夾具對(duì)石英晶體電參數(shù)測(cè)試精度的影響.pdf

1、在高頻石英晶體生產(chǎn)過程中，要求測(cè)試儀在高頻條件下精確穩(wěn)定地測(cè)量石英晶體的等效電參數(shù)。目前使用的直接幅值相位傳輸法只能測(cè)量電路的輸入端到輸出端的互阻抗，在高頻條件下由于電路元件阻抗特性會(huì)發(fā)生變化，將導(dǎo)致測(cè)量信息不全面。而網(wǎng)絡(luò)分析法將石英晶體等效為一個(gè)兩端口網(wǎng)絡(luò)，以電磁波的形式描述傳輸信號(hào)，分別研究輸入、輸出端的反射特性，和輸入端到輸出端的正向逆向傳輸特性，可以更加全面的測(cè)量石英晶體測(cè)試電路的信息。
　　本文以石英晶體在串聯(lián)諧振頻率附

2、近的兩端口等效電路為基礎(chǔ)，應(yīng)用兩端口網(wǎng)絡(luò)分析原理及散射參數(shù)（S參數(shù)）與導(dǎo)納、阻抗的轉(zhuǎn)換關(guān)系，研究了石英晶體等效電參數(shù)的具體測(cè)量方法。網(wǎng)絡(luò)分析法測(cè)量石英晶體等效電參數(shù)時(shí)，夾具是非常重要的組成部分，本研究中采用π網(wǎng)絡(luò)電路作為測(cè)量夾具，它既可以解決測(cè)試接口失配問題，又可以完成輸入輸出阻抗匹配功能，提高了輸入輸出端口對(duì)稱性，改善了測(cè)試電路性能。然而夾具的分布參數(shù)會(huì)引起輸出信號(hào)的相位偏移，影響石英晶體等效電參數(shù)的測(cè)試精度，因此本文根據(jù)夾具的相關(guān)原

3、理提出測(cè)試電路的誤差等效模型，分析不同誤差因素對(duì)測(cè)試精度的影響，并使用去嵌入方法減小夾具分布參數(shù)對(duì)測(cè)試精度的影響。
　　兩端口網(wǎng)絡(luò)分析實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明:在全頻率范圍內(nèi)，由于傳輸電纜的電氣特性，測(cè)試信號(hào)的相位有360°的相位翻轉(zhuǎn)，測(cè)量的S參數(shù)可以直觀反應(yīng)測(cè)試晶體的頻率特性，能明顯顯示石英晶體反諧振頻率特性，有效避免錯(cuò)誤測(cè)量。此外，根據(jù)測(cè)量的S參數(shù)和相應(yīng)的參數(shù)轉(zhuǎn)換關(guān)系，可以精確測(cè)量石英晶體π網(wǎng)絡(luò)測(cè)試電路的阻抗頻率曲線，再應(yīng)用去嵌入的方法可