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文檔簡介
1、利用掃描隧道顯微技術(shù)對金屬表面進行顯微電化學(xué)刻蝕的方法,其構(gòu)思與方法新穎,具有極高分辨率的空間選擇性和加工對象的普適性,顯示了STM在微/納加工領(lǐng)域的潛能.該文提出了STM高分辨率電化學(xué)刻蝕的二次高度定位方法,討論了電化學(xué)刻蝕的基本原理和實驗特點.自行設(shè)計了STM電化學(xué)刻蝕加工裝置,并在不銹鋼表面刻蝕出了特征結(jié)構(gòu),根據(jù)刻蝕圖案分析了影響刻蝕分辨率的因素.根據(jù)STM鏡體與樣品臺的特點,設(shè)計了STM的電化學(xué)刻蝕電解池.自行設(shè)計、組裝、調(diào)試了
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