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文檔簡介
1、 本文針對微小零件加工技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用的需要，研制了用于檢測微小零件表面力學(xué)性能的電磁式微納米硬度檢測系統(tǒng)，并應(yīng)用此系統(tǒng)進行了納米壓痕實驗研究。首先闡述了研究微納米硬度檢測系統(tǒng)的背景及其應(yīng)用領(lǐng)域，總結(jié)了硬度檢測技術(shù)的國內(nèi)外發(fā)展，介紹了用于納米壓痕實驗研究的納米壓痕理論方法。然后研究了微納米硬度檢測系統(tǒng)的驅(qū)動方法及位移檢測方法，進行系統(tǒng)總體設(shè)計，描述了基于電磁場理論設(shè)計的電磁式微納米硬度測頭的結(jié)構(gòu)，驅(qū)動線圈參數(shù)以及位移檢測子
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