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文檔簡介
1、X射線角分類機是目前晶體切割和加工設(shè)備中重要的定向?qū)S迷O(shè)備。X射線角分類機是以X射線為手段,依據(jù)布拉格方程,對晶體進行分析的光機電一體化精密儀器。為了提高晶片測量精度,需要采用Ω旋轉(zhuǎn)測量法進行晶體的檢測,由于實際研發(fā)過程中采用低精度編碼器與高速數(shù)據(jù)采集器相結(jié)合的方法,通過數(shù)據(jù)插值得到每個角度秒的X射線衍射值,這就要求轉(zhuǎn)臺運行高度平穩(wěn),另外轉(zhuǎn)臺的振動也會造成晶體測量的誤差。因此,設(shè)計開發(fā)轉(zhuǎn)臺控制系統(tǒng)具有一定的理論和實際應(yīng)用意義。
2、 本文基于FPGA平臺設(shè)計了轉(zhuǎn)臺控制系統(tǒng),實現(xiàn)對轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)速的控制和振動的測量。對于轉(zhuǎn)速控制子系統(tǒng),采用光電編碼器反饋轉(zhuǎn)速信息,設(shè)計了包括光電編碼器接口電路,電機驅(qū)動電路在內(nèi)的硬件接口電路并設(shè)計了軟件模塊;采用自適應(yīng)逆控制策略消除擾動力矩的影響,設(shè)計了控制器并仿真,仿真結(jié)果證明了控制器是符合系統(tǒng)設(shè)計要求的。對于振動測量子系統(tǒng),采用CCD技術(shù)對晶片進行激光校偏,設(shè)計了包括二值化電路,CCD驅(qū)動電路以及數(shù)據(jù)采集電路在內(nèi)的硬件接口電路及軟件模塊,
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