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文檔簡介
1、X射線角分類機是目前晶體切割和加工設備中重要的定向?qū)Ｓ迷O備。X射線角分類機是以X射線為手段，依據(jù)布拉格方程，對晶體進行分析的光機電一體化精密儀器。本文在手動X射線角分類機的基礎上，采用單片微型計算機測控系統(tǒng)和步進電機驅(qū)動系統(tǒng)，利用微弱信號檢測技術(shù)、計算機數(shù)據(jù)處理技術(shù)實現(xiàn)了自動測量，從而消除了人為測量帶來的測量誤差，提高了晶片檢測效率。
本文首先詳細研究了X射線角分類機的各項設計指標，在此基礎上根據(jù)功能要求，設計了X射線角分類機
2、測控系統(tǒng)的硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)，并研究了針對復雜信號的數(shù)據(jù)采集與處理的各種算法。選定美國Microchip公司先進的高速混合信號片上系統(tǒng)單片機PIC18F4620與PIC16F887作為測控系統(tǒng)的核心;采用硬件與軟件相結(jié)合的方法實現(xiàn)了模擬信號的放大、濾波、模數(shù)轉(zhuǎn)換和數(shù)字信號處理;同時，采用了一系列硬件、軟件的抗干擾方法保證測量的精度。
本文還設計開發(fā)了步進電機細分驅(qū)動系統(tǒng)。細分驅(qū)動技術(shù)是一種能有效改善步進電機低頻特性和提高步進精
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