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文檔簡介
1、聲表面波技術(shù)是20世紀(jì)60年代發(fā)展起來的一門新興學(xué)科,它集合了聲學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)以及材料學(xué)等多個(gè)學(xué)科。聲表面波器件已被廣泛應(yīng)用于移動(dòng)通信、航空電子等領(lǐng)域。進(jìn)入二十一世紀(jì),聲表面波技術(shù)在微流體、固體驅(qū)動(dòng)等應(yīng)用領(lǐng)域有了長足的發(fā)展。
本論文的研究重點(diǎn)是聲表面波微驅(qū)動(dòng)器的制備及其應(yīng)用,主要工作內(nèi)容包括如下:
1.介紹了聲表面波技術(shù)的發(fā)展歷程、聲表面波器件的主要種類及微機(jī)電系統(tǒng),概述了聲表面波微驅(qū)動(dòng)器在微流體、固體驅(qū)動(dòng)等領(lǐng)域的
2、國內(nèi)外最新研究進(jìn)展及科學(xué)意義。
2.闡述了體聲波的種類及聲表面波的原理和特點(diǎn),分析了叉指換能器的結(jié)構(gòu)、聲表面波的激勵(lì)原理及叉指換能器的δ函數(shù)模型,探討了壓電基片材料的選擇。
3.通過MATLAB和ANSYS軟件對聲表面波微驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)特性進(jìn)行了仿真。
4.研究了聲表面波微驅(qū)動(dòng)器的微細(xì)加工工藝,通過實(shí)驗(yàn)優(yōu)化了各種工藝參數(shù),并制作了多種尺寸大小的聲表面波微驅(qū)動(dòng)器。
5.闡述了聲表面波在微流體中的傳播原
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