硅片檢測運動臺的設(shè)計和研究.pdf

1、多自由度精密運動平臺是半導體行業(yè)中硅片制造和檢測過程里至關(guān)重要的問題,采用直線電機和音圈電機等先進驅(qū)動方式的精密運動平臺相對傳統(tǒng)滾珠絲杠+旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動的運動平臺,具有精度高、響應快、壽命長、免維護和結(jié)構(gòu)簡單等諸多優(yōu)點,優(yōu)勢十分明顯,因此日益受到高精密運動平臺生產(chǎn)和研究領(lǐng)域的重視。
　　首先,在分析硅片檢測對運動平臺提出的技術(shù)參數(shù)要求的基礎(chǔ)上,本文對運動平臺的運動過程進行了規(guī)劃,對每個單軸運動的精度和運動形式進行了分析,并在此基礎(chǔ)上

2、提出了一種包括機械結(jié)構(gòu)設(shè)計和控制系統(tǒng)設(shè)計的整體設(shè)計方案。其次,在對直線運動平臺的驅(qū)動方式和導軌類型進行了選擇的基礎(chǔ)上,著重設(shè)計了R向直線運動平臺的機械結(jié)構(gòu)模型,并制作了樣機。然后,針對選用的永磁直線同步電機,描述了其控制系統(tǒng)的基本原理,從理論上推導出了PMLSM的d-q軸數(shù)學模型,找到了電機電流和推力的對應關(guān)系,在理論分析的基礎(chǔ)上使用Simulink對控制系統(tǒng)進行了建模和仿真。并在此基礎(chǔ)上,選用正確的反饋裝置和控制方法實現(xiàn)了對樣機的成功