納米尺寸MgO薄膜制備及工藝參數(shù)對其沉積的影響研究.pdf

1、分析檢測生物樣品中所關注的物質是否存在、測定其中的成分含量、檢測成分含量的變化、表征成分結構有多種手段。其中生物傳感器具有高度的選擇性、極高的靈敏度、響應快、樣品用量少、體積小、準確度高等優(yōu)點，已經(jīng)被廣泛的應用在醫(yī)學、生物工程、食品工業(yè)和環(huán)境污染物檢測等領域。
　　傳統(tǒng)的生物傳感器換能器的柵介質材料為SiO2，隨著生物傳感器的發(fā)展，絕緣柵介質層等效厚度已減小到納米量級，超薄的SiO2作為柵介質材料導致?lián)Q能器的穩(wěn)定性和可靠程度降低，

2、納米尺寸的MgO薄膜具有良好的絕緣性、高的介電常數(shù)、價格低廉和多種制備方法等特點，具有替代SiO2的可能。本文主要研究內容如下:
　　1、使用磁控濺射技術，在Si襯底上制備優(yōu)良的納米尺寸MgO薄膜。利用SGC-10薄膜測厚儀對薄膜厚度進行精準測量。
　　2、構建了磁控濺射法制備納米MgO薄膜厚度分布的理論模型，推導出厚度分布方程，并以離散值模擬出圖像。同時我們也將實際測得的厚度值進行擬合，發(fā)現(xiàn)其與理論模型得到的結果符合的較好