普通玻璃基片上TiO-,2--SnO-,2-：Sb薄膜的SOL-GEL法制備和表征.pdf

1、本研究通過(guò)調(diào)節(jié)乙醇與鈦酸丁酯的比例，在玻璃基片上制備了與ATO膜相匹配的折射率和厚度的TiO2薄膜，然后在該膜上制備了ATO薄膜。用TiO2薄膜，消減ATO膜的反射干涉色，并作為隔離層，防止玻璃基片中鈉離子擴(kuò)散、防止ATO的導(dǎo)電性能下降。以鈦酸丁酯、無(wú)機(jī)金屬鹽SnCl2·2H2O和SbCl3為原料，用乙醇做溶劑配置TiO2和SnO2:Sb溶膠前驅(qū)液。采用溶膠-凝膠提拉法工藝，首先在玻璃基片上制備了TiO2薄膜和Sb摻雜的SnO2透明導(dǎo)電

2、薄膜(SnO2:Sb，ATO)，然后在預(yù)鍍TiO2薄膜的玻璃基片上制備了ATO薄膜。研究了Sb摻雜濃度和熱處理溫度對(duì)玻璃基ATO薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響，乙醇量對(duì)TiO2薄膜性能的影響；分析了TiO2薄膜中間層對(duì)ATO薄膜光學(xué)性能和電學(xué)性能的影響。
　　 研究結(jié)果表明：溶膠-凝膠法制備的ATO薄膜晶相結(jié)構(gòu)主要是四方金紅石相結(jié)構(gòu)。隨著Sb摻雜濃度的增加，ATO薄膜在可見(jiàn)光波段透過(guò)率逐漸下降，光學(xué)帶隙減小，薄膜表面微裂紋增加。適量的Sb

3、摻雜(～5％)能顯著提高薄膜的導(dǎo)電性能，并有較高的可見(jiàn)光透過(guò)率。在相同的Sb摻雜濃度下，熱處理溫度對(duì)簿膜的性能和結(jié)構(gòu)也有很大的影響。隨著熱處理溫度的升高，ATO薄膜結(jié)晶性能提高，晶粒長(zhǎng)大，發(fā)育趨向良好；熱處理溫度為500℃，薄膜達(dá)到最小的方塊電阻和較高的紅外反射率；低于500℃，薄膜晶化不完整，電阻變大；高于500℃，周圍環(huán)境中的氧補(bǔ)償了氧空位、玻璃基片中的Na+向薄膜擴(kuò)散，使電阻變大。乙醇量對(duì)TiO2薄膜的折射率和厚度有很大的影響。隨