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1、TiO2是寬禁帶N型金屬氧化物半導(dǎo)體材料,禁帶寬度為3.2eV,晶粒尺寸介于1~100nm。納米TiO2氣敏材料粒徑小,比表面積大,相對(duì)氣體阻抗變化大等優(yōu)點(diǎn),提高了TiO2氣敏傳感器的靈敏度,改善了氣敏傳感器的性能,在各種傳感器、太陽(yáng)能電池、光催化環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有重要的應(yīng)用前景。目前,氣敏傳感器的發(fā)展趨勢(shì)集中表現(xiàn)為:提高靈敏度和穩(wěn)定性,降低功耗和成本,縮小尺寸。
本文采用sol-gel法制備納米TiO2,利用鈦酸丁酯與無(wú)水乙醇
2、的水解-縮聚反應(yīng)制備了納米TiO2膠體,通過(guò)最佳摻雜理論的指導(dǎo)制備出了未摻雜的TiO2、2wt%ZnO-TiO2、4wt%ZnO-TiO2以及6wt%ZnO-TiO2四種不同摻雜量的樣品粉末,并分別在馬弗爐中進(jìn)行500℃、700℃、900℃退火溫度的處理,通過(guò)XRD、SEM等檢測(cè)手段對(duì)其物相、結(jié)構(gòu)和表面微觀形貌等進(jìn)行了分析研究。利用涂覆法將制備的納米粉末涂抹在Al2O3陶瓷管上制備了旁熱式氣敏元件。通過(guò)氣敏元件測(cè)試系統(tǒng)對(duì)不同氣體的氣敏特
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