OTFT器件及氣敏性能研究.pdf

1、有機(jī)薄膜晶體管（OTFT），又稱為有機(jī)薄膜場(chǎng)效應(yīng)管。因其具有低功耗、質(zhì)量輕、體積小等優(yōu)點(diǎn)自問世以來就受到研究人員的普遍關(guān)注。目前，OTFT被廣泛地應(yīng)用于傳感器、存儲(chǔ)卡和有源驅(qū)動(dòng)平板顯示等領(lǐng)域。本文以重?fù)诫s的n型硅為襯底、SiO2為絕緣層，分別以六噻吩（α-6T）和聚3-己基噻吩(P3HT)復(fù)合薄膜作為有源層制作了底柵極底接觸結(jié)構(gòu)的有機(jī)薄膜晶體管器件。在此基礎(chǔ)上把器件應(yīng)用于氣體傳感器，并測(cè)試了其對(duì)幾種氣體的響應(yīng)特性，具體工作包含以下幾個(gè)方

2、面：
　　1.采用真空蒸發(fā)法制備了六噻吩（α-6T）薄膜，研究了α-6T有機(jī)薄膜晶體管的電學(xué)性質(zhì)。將制備好的六噻吩有機(jī)薄膜晶體管暴露在不同的氣體中，研究了器件對(duì)各種氣體的響應(yīng)特性。結(jié)果表明α-6T-TFT傳感器對(duì)NO2、NH3這兩種氣體表現(xiàn)出良好的響應(yīng)特性。兩種氣體引起器件的漏源電流（IDS）變化相反。α-6T-TFT傳感器對(duì)甲醇、乙醇、仲丁醇這三種有機(jī)揮發(fā)性蒸汽的也具有一定的敏感性。
　　2.采用旋涂法分別制備了P3HT薄

3、膜和P3HT/單壁碳納米管（Single-walled Carbon Nanotubes，SWCNTs）復(fù)合薄膜。分別采用這兩種材料為有源層制備了OTFT器件。比較這兩種有源層器件的電學(xué)性質(zhì)，結(jié)果表明，P3HT/SWCNTs薄膜晶體管的遷移率要高于P3HT-TFT。
　　3.比較了P3HT/SWCNTs薄膜晶體管和P3HT-TFT對(duì)不同氣體的響應(yīng)。結(jié)果表明P3HT/SWCNTs薄膜晶體管對(duì)H2S氣體表現(xiàn)出良好的響應(yīng)特性。而P3HT