γ-Al-,2-O-,3-基薄膜型氣敏材料的制備及氣敏性能研究.pdf

1、該課題組已經(jīng)發(fā)明了Al<,2>O<,3>基陶瓷氣敏傳感器材料體系,本論文是在前面研究工作的基礎(chǔ)上進(jìn)行的Al<,2>O<,3>基薄膜型氣敏傳感器的研究.該論文采用溶膠—凝膠法:以廉價(jià)的無(wú)機(jī)鹽AlCl<,3>.9H<,2>O,氨水為前驅(qū)物,水為溶劑,通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂覆工藝制備了Al<,2>O<,3>基的各種薄膜,包括純?chǔ)?Al<,2>O<,3>、(SnO<,2>,Pd)γ-Al<,2>O<,3>、(In<,2>O<,3>,Pd)γ-Al<,2>O

2、<,3>、(SnO<,2>,MgO,Pd)γ-Al<,2>O<,3>和(SnO<,2>,MgO,ZnO,Pd)γ-Al<,2>O<,3>薄膜;對(duì)AlOOH溶膠及摻入多種金屬水合物的AlOOH溶膠制備過(guò)程中的一些主要影響因素:水解溫度、沉淀的PH值,膠溶劑的用量、膠溶溫度、及老化溫度和老化時(shí)間進(jìn)行了比較詳細(xì)的研究,得出了制備穩(wěn)定、清澈的AlOOH基水溶膠的較好的工藝技術(shù)條件.然后對(duì)旋轉(zhuǎn)涂覆工藝得到的薄膜進(jìn)行了分析表征:應(yīng)用X射線粉末衍射儀

3、(XRD)分析了制成的AlOOH干凝膠和γ-Al<,2>O<,3>粉體的物相結(jié)構(gòu);用X-射線光電子能譜儀(XPS)分析了γ-Al<,2>O<,3>、(SnO<,2>,Pd)γ-Al<,2>O<,3>、(In<,2>O<,3>,Pd)γ-Al<,2>O<,3>薄膜表面的組成成分;用原子力顯微鏡(AFM)對(duì)650℃燒結(jié)得到的γ-Al<,2>O<,3>薄膜、550℃、650℃、750℃三個(gè)不同燒結(jié)溫度下得到的(SnO<,2>,Pd)γ-Al<