納米ZnO材料的制備及氣敏性能的研究.pdf

1、ZnO薄膜制成的氣敏傳感器具有響應速度快、恢復時間短、選擇性好、對環(huán)境污染小等特點,可以用來檢測各種易燃、易爆及危險氣體，是目前應用廣泛的氣敏材料之一，其中摻雜是提高ZnO材料的靈敏度和選擇性的主要途徑。本文主要采用sol-gel法制備出ZnO顆粒和薄膜，并對其結構和組成進行分析，研究了ZnO薄膜制備工藝及摻雜對乙醇及丙酮氣敏特性的影響，簡要分析了其氣敏機理，得到了下列結果：
　　1.利用sol-gel法成功制備了粒徑尺寸為14.

2、4～34.2 nm的ZnO薄膜，分析表明：醋酸鋅濃度對ZnO晶粒尺寸影響不明顯；ZnO薄膜的晶粒尺寸隨燒結溫度的升高而變大； La3+、Cu2+等元素的摻雜導致ZnO薄膜晶粒尺寸明顯減小。
　　2.分別研究了加熱電壓和燒結溫度對ZnO薄膜的氣敏特性的影響，分析表明：對于純的ZnO薄膜，其靈敏度隨加熱電壓的升高而升高，加熱電壓為5.11 V時，對乙醇靈敏度達到最高；隨燒結溫度升高，靈敏度先升高后降低，最佳燒結溫度為500℃，此時靈敏