基于LabVIEW的靜電懸浮微陀螺在環(huán)仿真系統(tǒng)研究.pdf

1、靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺是一種由扁平轉(zhuǎn)子和定子電極(包括懸浮、旋轉(zhuǎn)和檢測等電極)構(gòu)成的MEMS器件。它采用高精度靜電陀螺球形轉(zhuǎn)子的支承方式和經(jīng)典陀螺儀盤形轉(zhuǎn)子的工作方式，具有比振動(dòng)式微陀螺精度高的潛在優(yōu)點(diǎn)，具有廣闊的應(yīng)用前景。
　　基于LabVIEW和虛擬儀器技術(shù)的硬件在環(huán)仿真技術(shù)目前在各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。本課題主要是研究基于LabVIEW的在環(huán)仿真技術(shù)在靜電懸浮微陀螺測控系統(tǒng)上的應(yīng)用。本文的主要內(nèi)容和結(jié)論包括：
　　介紹

2、了靜電懸浮微陀螺的研究概況、應(yīng)用前景、檢測控制方法，并對靜電懸浮微陀螺的結(jié)構(gòu)，加工材料，工作原理和加工工藝流程進(jìn)行了說明。
　　通過一個(gè)相敏解調(diào)的例子說明了LabVIEW在懸浮微陀螺仿真控制中的應(yīng)用，實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論相符合，證明了LabVIEW仿真技術(shù)在微陀螺仿真中應(yīng)用的可行性。
　　講述了靜電懸浮微陀螺的系統(tǒng)模型和控制方法，利用LabVIEW采用集中控制策略對陀螺軸向的三個(gè)自由度進(jìn)行了仿真控制，驗(yàn)證了集中控制策略的可行性。<