靜電懸浮轉子微陀螺信號處理及虛擬建模仿真.pdf

1、隨著MEMS技術的飛速發(fā)展，微懸浮轉子式陀螺逐漸成為研究的熱點和關注的焦點。不同于傳統(tǒng)振動式陀螺，懸浮轉子式具有高精度、高靈敏度等優(yōu)點，而且排除了振動式微陀螺所固有的正交耦合誤差等缺點，成為具有良好發(fā)展前景的一種MEMS器件，已在美、日、英等國得到了一定的研究成果，顯示出相當?shù)陌l(fā)展?jié)摿Α?本文對靜電懸浮轉子微陀螺的相關技術進行了分析和研究，并對信號的處理進行了分析和設計，結合機構模型，進行了動態(tài)仿真。 全文的主要研究內(nèi)容

2、和結論如下： 對靜電懸浮轉子微陀螺的工作原理進行了闡述，對懸浮轉子微陀螺的動力學和一般運動特性進行了分析，對微陀螺結構進行了分析。對電容檢測原理進行了說明，結合電容檢測在微陀螺中的應用，設計了等效控制模型，并就其中的一些關鍵技術進行了分析。同時提出了控制和檢測的思路和方法。 設計了靜電懸浮轉子微陀螺DDS信號發(fā)生電路，為后續(xù)控制電路提供良好的信號源，確保了系統(tǒng)正常工作。信號源可根據(jù)實際需要，通過調(diào)整參數(shù)，得到不同的輸出量