Si基微結(jié)構(gòu)CO氣體傳感器微系統(tǒng)的設(shè)計(jì).pdf

1、近年來，礦山、煤炭等企業(yè)煤氣泄漏、爆炸事故時(shí)有發(fā)生，造成了大量的人員傷亡，同時(shí)給安全生產(chǎn)帶來了極大的事故隱患。因此研究出一種可以實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確的檢測易燃、易爆、有毒有害氣體的裝置，是礦山、煤礦等企業(yè)能夠安全生產(chǎn)的前提，也是科研人員一直重點(diǎn)研究的課題。氣體傳感器是氣體檢測系統(tǒng)中的核心部分，決定了檢測系統(tǒng)性能的優(yōu)劣。
　　CO是一種有毒氣體，是煤井重點(diǎn)檢測的氣體之一。本文以CO氣體為檢測對(duì)象，設(shè)計(jì)了一種基于硅基片的微結(jié)構(gòu)氣體傳感器微系統(tǒng)。

2、設(shè)計(jì)的研究工作主要有以下幾個(gè)方面:
　　1.設(shè)計(jì)了一種具有溫度補(bǔ)償功能的Si基微結(jié)構(gòu)CO氣體傳感器，利用有限元分析軟件ANSYS對(duì)傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行熱分析從而優(yōu)化了傳感器結(jié)構(gòu)，并對(duì)傳感器工作狀態(tài)下的熱應(yīng)力進(jìn)行了仿真和理論分析，驗(yàn)證了其工藝的可行性。
　　2.詳細(xì)介紹了微結(jié)構(gòu)CO氣體傳感器的制備工藝。通過光刻剝離工藝完成了傳感器微電極的制備;通過水熱合成法合成了氣敏材料納米氧化鋅。并完成了激光切割、敏感材料涂敷、燒結(jié)、焊接引線封