檢測(cè)危險(xiǎn)氣體的石英晶振微天平氣體傳感器的研究.pdf

1、為了彌補(bǔ)傳統(tǒng)氣體傳感器氣體檢測(cè)精度不高這一不足，本文使用石英晶振微天平(Quartz Crystal Microbalance，QCM)氣體傳感器對(duì)危險(xiǎn)氣體進(jìn)行檢測(cè)。實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，通過(guò)對(duì)鍍膜工藝的改進(jìn)，自主研制了旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)，使用旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)進(jìn)行對(duì)石英晶振片的鍍膜，其成膜即快又均勻；在進(jìn)氣裝置中，采用靜態(tài)塑料袋進(jìn)氣法，盡可能的排除了環(huán)境當(dāng)中的干擾因素；使用了實(shí)驗(yàn)組自主編制的基于LabVIEW平臺(tái)的QCM氣體傳感器頻率測(cè)試程序?qū)y(cè)試結(jié)果進(jìn)行記錄

2、。
　　 本文在一定溫度條件下進(jìn)行試驗(yàn)，利用QCM氣體傳感器，主要測(cè)試了七種敏感膜對(duì)二甲苯氣體和正己烷氣體的響應(yīng)特性。主要對(duì)二甲苯氣體及正己烷氣體響應(yīng)特性進(jìn)行研究，主要測(cè)試其響應(yīng)性，穩(wěn)定性，重復(fù)性，以及不同濃度氣體頻率響應(yīng)的線性關(guān)系。通過(guò)對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析，得出以下結(jié)論：二氧化鈦敏感膜對(duì)二甲苯氣體及正己烷氣體的響應(yīng)性和重復(fù)性最好，其穩(wěn)定性較高；二氧化鈦敏感膜對(duì)氣體的選擇性最好；二氧化鈦敏感膜與不同濃度的正己烷氣體的響應(yīng)頻率具有良好