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1、 本文利用溶膠－凝膠法制備出結(jié)構(gòu)性能良好的ZnO基薄膜，對薄膜的透明導(dǎo)電性、紫外光電響應(yīng)特性、紫外光照下氣敏性能進行了研究，對相關(guān)的機理也進行了探討。測試顯示，紫外光照能夠提高室溫ZnO基薄膜對CO和乙醇氣體檢測的靈敏度。 傳感器元件從分立到集成，敏感膜從單一到復(fù)合，小型化、多功能化、常溫化、智能化的發(fā)展是氣體傳感器發(fā)展的必然趨勢。隨著微電子和薄膜技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了加熱單元、溫度傳感器、測量電極等集成一體的氣體傳感器，結(jié)構(gòu)小型化使
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