高分辨、高導(dǎo)電固化型銀漿的研究.pdf

1、導(dǎo)電銀漿是印刷厚膜電子元器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一，被廣泛運(yùn)用于電子信息領(lǐng)域，為其提供導(dǎo)電布線，用量十分巨大。目前，電子信息領(lǐng)域?qū)Ξa(chǎn)品的小型化和集成化提出了更高的要求，這迫使導(dǎo)電布線必須具備較小的線寬和線間距，以及較低的阻抗。所以，研究高分辨、高導(dǎo)電固化型銀漿具有十分重要的意義。本文研究了影響銀漿印刷分辨率和導(dǎo)電性的主要因素及其作用機(jī)理，為兼顧高分辨印刷性能和高導(dǎo)電成膜特性的銀漿的設(shè)計(jì)與制備提供理論指導(dǎo)及技術(shù)支持。
　　本文采用控制變

2、量法，在 PET基材上對(duì)不同配方的銀漿印刷成膜，并固化得到樣品。使用光學(xué)顯微鏡觀察細(xì)線的表觀形貌并測(cè)量細(xì)線的寬度，以分析影響分辨率的因素。同時(shí)，測(cè)試固化后細(xì)線的電阻及膜厚計(jì)算方阻，研究成膜導(dǎo)電率的影響因素。研究發(fā)現(xiàn)，絲網(wǎng)印刷制得的銀漿膜層，其印刷分辨率主要受印刷工藝參數(shù)、銀漿與基材間的潤(rùn)濕性能及銀漿的流變性能等因素的影響；而銀漿成膜后的導(dǎo)電性主要受銀漿成分和固化工藝的影響。
　　通過觀察布線膜層形貌，總結(jié)出導(dǎo)致細(xì)線分辨率降低的五種

3、主要形式，即整體寬化、邊緣“圓齒”化、飛墨、毛刺、局部膨脹等。其中，布線整體寬化和線邊緣“圓齒”化對(duì)細(xì)線分辨率影響最大。結(jié)果表明，刮刀速度、刮刀角度及脫離高度的適當(dāng)增加可一定程度上減小寬化程度；適當(dāng)降低基材的表面張力或增加銀漿的表面張力也可減小細(xì)線的寬化；相對(duì)來說，具有適當(dāng)高的粘度、較低的屈服應(yīng)力值、快速的結(jié)構(gòu)恢復(fù)特性及較弱的拉絲特性的銀漿有利于細(xì)線分辨率的提高。
　　實(shí)驗(yàn)研究了成膜方阻與銀漿各組分特性及含量的關(guān)系，通過建立相應(yīng)的