高精度微光學加速度計信號處理系統(tǒng).pdf

1、本文提出了一種高精度微加速度計的信號處理系統(tǒng)。光學加速度計高精度、高靈敏度和不易受電磁干擾特性使得它成為慣性導航應用中潛力比較大的技術。微制造尤其是MEMS的技術進步很好的促進了光學加速度計的發(fā)展，使得光學加速度計不但具有光學測量的優(yōu)點，還具有了微型傳感器體積小、可靠性高、易于制造、長期穩(wěn)定性好、可批量生產(chǎn)、價格低等特點。因此微光學加速度計非常具有研究和應用價值。
　　 本文主要研究內(nèi)容包括以下幾個方面:
　　 1.全面

2、了解和研究了加速度傳感器的相關基礎知識，對傳感器的發(fā)展歷史和分類進行了簡單介紹。結(jié)合MEMS和MOEMS的概念，分析了目前一些典型的MEMS和MEEMS加速度傳感器的工作原理及各自的優(yōu)缺點。
　　 2.研究了加速度傳感器的各種檢測系統(tǒng)，從理論模型對其進行了分析，尤其是基于相位載波解調(diào)技術，為本文信號處理系統(tǒng)奠定了堅實的基礎。
　　 3.提出了高精度、低噪聲、抗干擾的高精度微加速度計信號處理系統(tǒng)，包括高精度微加速度計的整體

3、系統(tǒng)設計和基本原理，光電探測器的選擇、差分放大電路和帶通濾波器的設計，電路板的制作，使用PZT和鎖相放大器調(diào)制與解調(diào)過程，以及DSP數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理。該部分是是本課題研究的核心內(nèi)容。
　　 4.詳細介紹了實驗平臺的搭建，并分析了1g翻滾測試、靜態(tài)漂移實驗和噪聲分析實驗數(shù)據(jù)，由實驗結(jié)果可得該高精度微光學加速度信號處理系統(tǒng)的靈敏度達到0.1 ug，根據(jù)數(shù)據(jù)分析，該系統(tǒng)的分辨率還有很大的提升空間。
　　 最后對本文所涉及的研