隧道式微加速度計信號處理電路的研究.pdf

1、論文對隧道式微加速度計的信號處理電路進(jìn)行了系統(tǒng)詳細(xì)的研究，對采用PID方法實現(xiàn)閉環(huán)反饋系統(tǒng)的控制進(jìn)行了探索性分析。 考慮到敏感頭結(jié)構(gòu)對電路參數(shù)的影響，論文詳細(xì)介紹了隧道加速度計敏感頭及其接口電路的工作原理，重點分析了結(jié)構(gòu)加工中隧尖高度、初始間距等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)參數(shù)對敏感頭測試效果的影響；對加工成形的敏感頭的結(jié)構(gòu)參數(shù)和電學(xué)參數(shù)進(jìn)行了測試；分析了敏感頭在大氣封裝和真空封裝下對電路設(shè)計的不同要求。 論文的關(guān)鍵內(nèi)容之一是設(shè)計信號處理電

2、路完成微弱隧道電流的采集和測試輸出。該部分詳細(xì)描述了整體電路工作原理，各電路模塊完成的主要功能及設(shè)計方法；在I-V轉(zhuǎn)換模塊，分析了不同轉(zhuǎn)換方法在穩(wěn)定偏置電壓和轉(zhuǎn)換精度方面的差異；通過比較所選放大裝置的各項性能參數(shù)為放大器件的選擇提供了理論依據(jù)；在電路板的設(shè)計和工藝方面，簡要講述了為使整體電路性能提升而采取的噪聲屏蔽、防止漏電流等措施。 對隧道加速度計在真空封裝下的反饋控制系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)的建模和分析，為適應(yīng)敏感元件采用真空封裝的情