電容式微機(jī)械加速度計(jì)檢測(cè)電路研究.pdf

1、微機(jī)械加速度計(jì)作為一種重要的慣性器件，在汽車(chē)、消費(fèi)電子、慣性制導(dǎo)等方面有廣泛的應(yīng)用前景。性能指標(biāo)的提高一直是微機(jī)械加速度計(jì)領(lǐng)域的重要研究方向。其中，檢測(cè)電路的性能對(duì)加速度計(jì)整體性能起著日益重要的決定作用。 本文針對(duì)變面積電容式微機(jī)械加速度計(jì)，設(shè)計(jì)了單路載波調(diào)制型檢測(cè)電路。同時(shí)對(duì)閉環(huán)檢測(cè)電路進(jìn)行了初步研究。這些研究?jī)?nèi)容為微機(jī)械加速度計(jì)檢測(cè)電路的合理選擇和優(yōu)化設(shè)計(jì)提供了理論依據(jù)，對(duì)微機(jī)械加速度計(jì)的工程化具有一定參考意義。 論

2、文研究工作主要包括以下內(nèi)容： (1)設(shè)計(jì)了單路載波調(diào)制型檢測(cè)電路，包括載波發(fā)生器、電荷放大器、解調(diào)器、末級(jí)低通濾波器和放大器。研究了限制加速度計(jì)性能的主要因素，指出載波穩(wěn)定性、兩路電荷放大器的一致性將直接影響檢測(cè)電路的分辨率。本文給出了開(kāi)環(huán)加速度計(jì)的性能，分析了各項(xiàng)性能影響因素。 (2)分析了單偏置——雙反饋和雙偏置——單反饋兩種反饋施加方案。分析了PID反饋校正模塊的頻率特性，為實(shí)際反饋設(shè)計(jì)提供理論指導(dǎo)。在此基礎(chǔ)上，初