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文檔簡介
1、高精度(10-6g(μg))的微光機(jī)電加速度計(jì)，是慣導(dǎo)系統(tǒng)中的重要組部分。目前國內(nèi)在MEMS微加速度計(jì)方面，精度總體上低于10-4g。本課題所作的研究，主要是填補(bǔ)國內(nèi)在這方面的空白，提高整體的慣導(dǎo)技術(shù)水平。 本文主要論述了微加速度計(jì)的原理、設(shè)計(jì)理論和微加速度計(jì)的誤差分析，討論了微加速度計(jì)的主要性能指標(biāo)參數(shù)以及測試方法；并且在此基礎(chǔ)上提出了微加速度計(jì)設(shè)計(jì)關(guān)鍵部分——微位移測量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。 在本課題的目前研究階段，
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