高精度微光學加速度計靜電力閉環(huán)系統(tǒng)研究.pdf

1、傳統(tǒng)微機械加速度計精度無法滿足高精度領(lǐng)域的需求，而新興的微光學加速度計精度有了較大提高，但是動態(tài)范圍過小，限制了其應(yīng)用范圍，因此本文設(shè)計了一套基于MOEMS加速度計的閉環(huán)反饋控制方案，在保證高靈敏度的前提下盡量提高其動態(tài)范圍。
　　本文首先介紹了課題研究的MOEMS加速度計的開環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和工作原理，然后給出了開環(huán)模式下的系統(tǒng)輸出結(jié)果，和實驗裝置改進以前的開環(huán)實驗結(jié)果對比得知系統(tǒng)靈敏度得到了較大的提高，橫向串擾也到了有效的抑制。之后

2、分析了開環(huán)系統(tǒng)靈敏度和動態(tài)范圍的矛盾，并給出了MOEMS加速度計閉環(huán)結(jié)構(gòu)的方案設(shè)計，闡明通過靜電力實現(xiàn)閉環(huán)反饋控制，從而引出了電容式加速度計開環(huán)和閉環(huán)研究。
　　本文對開環(huán)電容式加速度計的結(jié)構(gòu)和靜電力驅(qū)動進行了分析和仿真說明了結(jié)構(gòu)的低通性和靜電驅(qū)動的非穩(wěn)性，然后通過simulink仿真得到開環(huán)系統(tǒng)的動態(tài)輸出結(jié)果圖;對閉環(huán)電容式加速度計進行了數(shù)學建模，得到其數(shù)學模型，并通過simulink仿真得到其動態(tài)輸出結(jié)果，通過和開環(huán)系統(tǒng)對比得