對LPCVD設(shè)備控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì).pdf

1、本文介紹了一臺進(jìn)口的LPCVD設(shè)備,它的型號是ACS514。它由三套爐管系統(tǒng)組成;它使用氨氣、SiH2Cl2、TEOS和SiH4等特氣。這臺LPCVD設(shè)備故障率高。對這臺設(shè)備故障的統(tǒng)計(jì)顯示,該設(shè)備的控制系統(tǒng)故障最多,占總故障的38％。為了減少這臺設(shè)備的故障率,提高設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性,需要對這臺設(shè)備的控制系統(tǒng)進(jìn)行重新設(shè)計(jì)。
　　本文的設(shè)計(jì)是在 ACS514設(shè)備上做的。去掉了這臺設(shè)備控制系統(tǒng)的大部分部件,只保留了一少部分部件。保留的

2、部件包括加熱觸發(fā)部件和一些智能控制部件。對 ACS514設(shè)備一些電路圖進(jìn)行了分析,并對該設(shè)備的輸入輸出量進(jìn)行了統(tǒng)計(jì)。選擇PLC模塊,對PLC模塊輸入輸出點(diǎn)進(jìn)行了定義,并繪制了多張PLC模塊引腳連接圖。確定LPCVD設(shè)備的控制方式。為了簡化PLC與微機(jī)的通信,定義了V存儲區(qū)里一些變量。使用PLC來控制溫度,使用PLC里的PID指令向?qū)蓽囟瓤刂频腜ID程序,使用PID參數(shù)自整定功能確定了PID參數(shù)。用梯形圖和順序控制法設(shè)計(jì) PLC用戶程

3、序,包括子程序和半自動順序控制程序。使用LabVIEW軟件設(shè)計(jì)微機(jī)上的設(shè)備控制軟件。用 NI公司485通信卡連接微機(jī)與PLC,該卡是帶隔離功能的PCI接口通信卡。
　　本文在設(shè)計(jì)LPCVD設(shè)備控制系統(tǒng)硬件時,針對溫度控制的要求,設(shè)計(jì)了熱偶信號調(diào)理接口板。在熱偶接口板電路圖里,使用5B47對R型熱偶信號進(jìn)行隔離和信號調(diào)理。5B47的輸出信號接到放大倍數(shù)可調(diào)的放大器,然后接到一個差分元件SN7518,該元件將信號轉(zhuǎn)換成差分信號輸出。這

4、種設(shè)計(jì),信號的抗干擾能力好。LPCVD設(shè)備經(jīng)常出現(xiàn)真空室的真空度漸變問題,這一般是由于真空管道壁上會淀積上一些反應(yīng)生成物,真空管道逐漸變細(xì)引起的。本文在控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)時加裝一個壓強(qiáng)控制器,保證了做工藝時爐管真空度的穩(wěn)定,提高了產(chǎn)品批次的均勻性,從而提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。增加了爐管壓強(qiáng)傳感器,從而加強(qiáng)了對進(jìn)出舟電機(jī)控制板的保護(hù),降低了LPCVD設(shè)備的故障率。
　　這臺設(shè)備在新的控制系統(tǒng)的控制下運(yùn)行了半年時間,設(shè)備故障率明顯減少。設(shè)備故障率