半導體設備控制系統的優(yōu)化設計與實現.pdf

1、面對海外設備廠商的市場壟斷和技術封鎖，自主研發(fā)半導體設備既是國內半導體設備市場的迫切需求，也是國家意志的體現。本文從控制程序設計、運動性能優(yōu)化、控制功能升級以及通信機制建立四個方面提出了半導體設備控制系統的優(yōu)化設計方案，以半導體智能分選機下位控制系統的開發(fā)為項目背景，詳細闡述了各項優(yōu)化內容的設計思想和實現過程。
　　針對傳統PLC梯形圖程序非結構化設計的弊端，借鑒軟件工程模塊化的設計思想，構建層次化的梯形圖模塊結構，提出了時序模塊

2、和運動模塊“低耦合、高內聚”的設計方案。基于三種基本控制結構（順序、選擇和并行），設計出簡單、高效以及通用的運動模型，以滿足各種常見自動化控制的設計要求。
　　伺服電機特征參數的調整以及運行精度、速度的控制決定了系統運動性能的優(yōu)劣?；赑ID控制原理，提出“響應優(yōu)先”和“穩(wěn)定優(yōu)先”兩種手動調節(jié)伺服參數的具體方法。以電子齒輪比設定、制振控制、齒隙誤差補償以及S型加減速控制為主體內容，介紹了提高系統運行精度、速度的實現途徑。
　

3、　針對自主研發(fā)的半導體設備自動化程度低、異常處理機制不可靠等功能開發(fā)問題，提出了以提升設備智能數控能力和完善運行安全保護機制為核心內容的系統控制功能升級方案，以開發(fā)分選機“運動軌跡實時可控”應用功能和自動報警功能為實例展開闡述了其具體設計過程。
　　以分選機工業(yè)通信網絡設計為例，提出了PLC與PC上位機建立“一對多”通信連接的實現方法。詳細介紹了多傳送緩沖器通道機制通信的基本原理和通信函數MSG-RCV的執(zhí)行時序，對通信效率與PL