半導(dǎo)體晶圓廠實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、最近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在中國迅猛發(fā)展，其生產(chǎn)規(guī)模不斷地?cái)U(kuò)大，制造工藝也日益復(fù)雜。半導(dǎo)體市場(chǎng)以其技術(shù)含量高、制造工藝精細(xì)、原本材料成本高、信息交流速度快，產(chǎn)品生產(chǎn)周期短的特征，使其競(jìng)爭(zhēng)相當(dāng)激烈。由于半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜和專業(yè)性很強(qiáng)，所以半導(dǎo)體制造環(huán)境迫切需要能夠快速響應(yīng)生產(chǎn)線實(shí)際狀態(tài)的調(diào)度方法，參考螞蟻生態(tài)系統(tǒng)中個(gè)體螞蟻間接通訊實(shí)現(xiàn)群體優(yōu)化的特征，將若干生產(chǎn)因素切割成獨(dú)立信息素，再根據(jù)半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線的機(jī)臺(tái)設(shè)備特性，給出了模仿信息素機(jī)制的半導(dǎo)體

2、晶圓廠生產(chǎn)線動(dòng)態(tài)派工規(guī)則。該規(guī)則同時(shí)考慮了批加工機(jī)臺(tái)設(shè)備和非批加工機(jī)臺(tái)設(shè)備的工件動(dòng)態(tài)派工，具有能夠改善整條半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線的能力。
　　半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)是非常典型的大規(guī)模復(fù)雜重入型制造系統(tǒng)。要解決全局生產(chǎn)調(diào)度優(yōu)化及并且兼顧各區(qū)派工優(yōu)化的實(shí)際問題，就需要整合具時(shí)變特征的多目標(biāo)生產(chǎn)調(diào)度方法及區(qū)域派工策略，從而建立起來一個(gè)高效率的時(shí)變多目標(biāo)的生產(chǎn)控制體系。從我國當(dāng)前半導(dǎo)體晶圓制造企業(yè)實(shí)際的生產(chǎn)調(diào)度的角度出發(fā)，以典型的瓶頸區(qū)域光刻機(jī)臺(tái)為

3、例，根據(jù)系統(tǒng)仿真方法以及模糊控制理論，為在區(qū)域內(nèi)運(yùn)行實(shí)時(shí)派工和兼顧全局生產(chǎn)調(diào)度優(yōu)化的類似復(fù)雜的問題提供了很好解決方法。該派工方法是除了在求解速度和優(yōu)化質(zhì)量二者之間取得平衡外，很好的實(shí)現(xiàn)了全局以及兼顧部分重要區(qū)域優(yōu)化的效果，為實(shí)現(xiàn)科學(xué)生產(chǎn)控制、調(diào)度與派工提供了有效的策略和方法。
　　根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)線模型的仿真結(jié)果表明，與生產(chǎn)線上當(dāng)前使用的調(diào)度規(guī)則相比，該動(dòng)態(tài)派工規(guī)則能夠更好的幫組我們改善半導(dǎo)體生產(chǎn)線性能，獲得較高的產(chǎn)量和準(zhǔn)時(shí)交貨率，以