厚氧化硅平面波導(dǎo)芯片中高效轉(zhuǎn)角鏡的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、目前基于PLC技術(shù)的大規(guī)模密集光交換器件正處在強烈的需求中,而氧化硅波導(dǎo)技術(shù)又是目前最成熟最有利于批量生產(chǎn)的 PLC技術(shù),所以帶來最低的產(chǎn)品成本。據(jù)文獻統(tǒng)計,其芯片上光學(xué)傳輸損耗及與光纖耦合損耗都最小,是科研與工程技術(shù)人員最看好的技術(shù)平臺。
  本文系統(tǒng)分析了氧化硅波導(dǎo)PLC技術(shù)產(chǎn)品的優(yōu)越性與發(fā)展?fàn)顟B(tài),找出在這一平臺上實現(xiàn)大規(guī)模光網(wǎng)絡(luò)器件所面臨的固有缺陷及必須解決的關(guān)鍵問題,有力地證明了工作的必要性與意義。結(jié)合了在硅基波導(dǎo)平臺上對

2、薄波導(dǎo)刻槽的成功經(jīng)驗、低折射率波導(dǎo)中全反射中較大的古斯-漢欣位移和氧化硅波導(dǎo)刻蝕加工的工藝特點,在氧化硅厚波導(dǎo)上刻蝕了21微米深槽以實現(xiàn)對導(dǎo)模的全反射。為方便實驗測試,器件設(shè)計成了一對具有1輸入3輸出的波導(dǎo)轉(zhuǎn)角鏡結(jié)構(gòu),反射面大于波導(dǎo)界面,實驗測試結(jié)果顯示出了3個輸出光斑,與設(shè)計目標(biāo)基本一致。3個反射光斑的總光損耗約為21dB,所以每個反射鏡光損耗為11dB。這一實驗現(xiàn)象與結(jié)果為進一步優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)提高反射效率奠定基礎(chǔ),也為實現(xiàn)大規(guī)模PLC

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