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文檔簡介
1、隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展，人們的生活水平大幅提高，對生活品質(zhì)的追求漸漸成為主流。而科學(xué)技術(shù)特別是在傳感技術(shù)、生物技術(shù)的高度發(fā)展，也使人們對生活品質(zhì)的追求變得更為現(xiàn)實(shí)與迫切。及時(shí)有效地開展重大疾病監(jiān)控、環(huán)境保護(hù)、食品安全工作已刻不容緩，而生物傳感技術(shù)已經(jīng)在疾病檢測、臨床診斷、環(huán)境監(jiān)控、食品檢測上獲得了廣泛的應(yīng)用。
表面等離子共振(Surface Plasmon Resonance，SPR)傳感器由于其免標(biāo)記、高靈敏度、成本低、可以
2、實(shí)時(shí)實(shí)地檢測等優(yōu)點(diǎn)，在生物傳感領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用價(jià)值。
本課題旨在研究一種高靈敏度的基于SOI材料的平面波導(dǎo)型表面等離子體共振傳感器，它有別于目前商用的基于棱鏡耦合的SPR傳感器，具有更小的體積、更高的集成度。
本文提出的平面波導(dǎo)表面等離子體傳感器使用材料SOI(Silicon-on-insulator)來實(shí)現(xiàn)，研究了工作波長在1550nm波段的傳感器。利用刻蝕面或解離端面作為反射端面，將傳統(tǒng)的棱鏡式結(jié)構(gòu)移植到波導(dǎo)結(jié)
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