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文檔簡介
1、隨著傳感技術(shù)的不斷的進(jìn)步，傳感器在化學(xué)，生物，醫(yī)療等科學(xué)領(lǐng)域得到越來越廣泛的應(yīng)用，于此同時(shí)對傳感器的性能要求也不斷提高。傳感技術(shù)呈現(xiàn)出高精度，集成化，多通道，在線實(shí)時(shí)測量等發(fā)展趨勢。本文研究的內(nèi)容是一種集成化的表面等離子共振傳感器，通過測量液體或者氣體的折射率獲取被測物質(zhì)的濃度信息，由于其結(jié)構(gòu)小巧，精度高，并且可以實(shí)時(shí)測量，被廣泛用于物理，化學(xué)，生物，以及醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的研究，具有很大的使用價(jià)值。近年來，隨著集成光學(xué)的迅速發(fā)展，各種光電子器件
2、都在往小型化和集成化方向邁進(jìn)。我們研究的內(nèi)容是用集成方法代替?zhèn)鹘y(tǒng)的棱鏡結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)表面等離子共振傳感技術(shù)。
時(shí)域有限差分(TheFinite—Difference Time Domain)方法(FDTD)是一種廣泛用于模擬電磁波行為的數(shù)值方法，本文中，論述了FDTD的原理，以及如何運(yùn)用合適的金屬色散模型來模擬金屬色散介質(zhì)，并使用FDTD方法模擬分析表面等離子共振傳感器。
提出了兩種基于SOI波導(dǎo)的集成表面等離子共
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