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1、隨著MEMS技術(shù)被廣泛應(yīng)用于各行各業(yè),其市場(chǎng)規(guī)模正在迅速擴(kuò)大。微型機(jī)械電子系統(tǒng)是各種微型零件的組合體,因此MEMS技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵是微型零件制備技術(shù)。微型平面彈簧作為其中重要的力學(xué)結(jié)構(gòu),和傳統(tǒng)彈簧一樣起到提供彈性力和傳遞能量的作用。本文提出以商用高強(qiáng)度QAl7銅合金為實(shí)驗(yàn)材料,研究不同熱處理態(tài)QAl7銅合金室溫下的力學(xué)性能,工藝參數(shù)對(duì)微型平面彈簧冷擠壓成形過(guò)程、微觀組織變化及力學(xué)性能的影響。本文主要結(jié)論如下:
QAl7銅合金的壓
2、縮屈服強(qiáng)度存在晶粒尺寸效應(yīng)和特征尺寸效應(yīng)。拉伸屈服強(qiáng)度在樣品厚度為0.25-0.5mm范圍內(nèi)表現(xiàn)出明顯的尺寸效應(yīng)。
成功制備出長(zhǎng)度8mm、寬度2mm、線寬0.5mm的QAl7銅合金彈簧柱,經(jīng)加工處理后可以獲得厚度為0.5mm的微型平面彈簧。在微彈簧成形過(guò)程中,潤(rùn)滑條件對(duì)微彈簧有著極大的影響,潤(rùn)滑條件越好,越有利于降低成形載荷,令彈簧柱形狀完美,表面較光滑。前期熱處理工藝和擠壓速度對(duì)微彈簧擠壓成形質(zhì)量影響很小。
微型彈
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