氮氧傳感器芯片老化裝置的研制.pdf

1、氮氧傳感器主要用來測量汽車尾氣中的NOx濃度，為汽車SCR后處理系統(tǒng)中尿素溶液的噴射量提供依據(jù)，使得汽車排放尾氣中的NOx含量達到國家排放標準。湖北丹瑞新材料有限公司在氮氧傳感器芯片的生產(chǎn)過程中，需要對芯片進行檢測，其中老化檢測是檢測流程中必不可少的一項。老化檢測就需要用到本文所涉及的氮氧傳感器芯片老化裝置。
　　氮氧傳感器芯片的問題易在首次使用的幾個小時到幾十個小時的時間內(nèi)暴露出來，為了剔除這些不合格的芯片，需要對芯片老化（模擬

2、加熱）一段時間。此外，經(jīng)過實驗證明，對芯片進行一段時間的老化電壓循環(huán)加熱后，氮氧傳感器芯片的測量穩(wěn)定性會提高。因此，為了使生產(chǎn)出來的氮氧傳感器芯片獲得穩(wěn)定的工作性能，在氮氧傳感器芯片出廠前需要對其進行老化加熱測試，而目前國內(nèi)尚未出現(xiàn)可用于生產(chǎn)的對氮氧傳感器芯片實現(xiàn)批量化的老化加熱測試的設(shè)備。
　　氮氧傳感器芯片的加熱層和電化學(xué)層之間必須有良好的絕緣，否則加熱層與電化學(xué)層之間的漏電流會影響到電化學(xué)層的測量準確性。氮氧傳感器芯片老化裝

3、置可以通過檢測芯片加熱層與電化學(xué)層之間漏電流的大小來判斷芯片絕緣層的可靠性，從而篩除絕緣層不達標的芯片。此外，該裝置在老化過程中通過測量芯片加熱電極的加熱電流，可以完成對芯片加熱電極的檢測，從而剔除加熱電極不合格的芯片。對氮氧傳感器芯片進行質(zhì)量檢測也是氮氧傳感器芯片老化裝置的另一大功能。
　　本文的研究方向在于：設(shè)計一套可以自動對氮氧傳感器芯片施加循環(huán)加熱老化電壓，并實時記錄加熱電流和漏電流的氮氧傳感器老化裝置系統(tǒng)。氮氧傳感器芯片