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文檔簡介
1、該論文分析了溫度、濕度及氧氣傳感器的工作原理,設計并研制了濕度傳感器和多功能組合傳感器的信號處理電路及顯示電路.該文重點分析了聚酰亞胺電容式濕度傳感器的工作原理,設計了濕度傳感器結構,探索了制備工藝對聚酰亞胺敏感膜的影響和對濕度傳感器的靈敏度的影響,最終制備出了濕度傳感器.通過類似于半導體涂膠工藝制作的聚酰亞胺電容式濕度傳感器的測濕范圍為0~100%RH,靈敏度為0.44Pf/%,穩(wěn)定性好.同時也對濕度傳感器的濕滯曲線和介電損耗的原因進
2、行了分析及討論.通過對溫度傳感器、濕度傳感器及氧氣傳感器敏感特性的測試及分析,設計并研制了多功能組合傳感器的信號處理電路.該電路使溫度、濕度、氧氣濃度傳感器的輸出電壓信號的變化范圍在0~2V之間,并隨各檢測量線性變化.文中還對研制出的能同時對環(huán)境溫度、濕度以及氧氣濃度的多功能組合傳感器的敏感特性進行了測試、分析及討論.同時,設計的A/D轉換電路和顯示電路可以將模擬信號轉換為數(shù)字信號,實現(xiàn)了多功能組合傳感器的輸出的數(shù)字化.該論文的工作屬于
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