基于LS_SVM的旋轉(zhuǎn)盤(pán)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、隨著國(guó)內(nèi)以LED產(chǎn)業(yè)為代表的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，我國(guó)對(duì)MOCVD設(shè)備的需求量不斷增大。但是目前我國(guó)的MOCVD設(shè)備主要來(lái)自于國(guó)外，價(jià)格昂貴。在這樣的行情下，我國(guó)將MOCVD設(shè)備技術(shù)研究列為國(guó)家科技發(fā)展的重要客課題。
　　旋轉(zhuǎn)盤(pán)是MOCVD反應(yīng)室的核心部件，是半導(dǎo)體外延片生長(zhǎng)的基座。在半導(dǎo)體外延片生長(zhǎng)的過(guò)程中，由于旋轉(zhuǎn)盤(pán)自身的材質(zhì)及其他影響因素，旋轉(zhuǎn)盤(pán)運(yùn)動(dòng)時(shí)極易發(fā)生振動(dòng)，從而影響半導(dǎo)體外延片的生長(zhǎng)。在復(fù)雜的環(huán)境場(chǎng)下，旋轉(zhuǎn)盤(pán)振動(dòng)呈現(xiàn)

2、非線性特征，使得旋轉(zhuǎn)盤(pán)振動(dòng)補(bǔ)償變得異常復(fù)雜。本論文以“基于LS_SVM的旋轉(zhuǎn)盤(pán)控制系統(tǒng)技術(shù)”為題，以提高旋轉(zhuǎn)盤(pán)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性為目標(biāo)，重點(diǎn)研究了旋轉(zhuǎn)盤(pán)振動(dòng)影響因素、旋轉(zhuǎn)盤(pán)振動(dòng)補(bǔ)償?shù)腖S_SVM預(yù)測(cè)建模及方法實(shí)現(xiàn)、旋轉(zhuǎn)盤(pán)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。論文的主要研究?jī)?nèi)容包括：
　　(一)旋轉(zhuǎn)盤(pán)振動(dòng)影響因素眾多，而且這些振動(dòng)影響因素來(lái)源是不一樣的，導(dǎo)致引起旋轉(zhuǎn)盤(pán)振動(dòng)的原因不明確。針對(duì)這一問(wèn)題，從旋轉(zhuǎn)盤(pán)運(yùn)動(dòng)力學(xué)研究著手，分析旋轉(zhuǎn)盤(pán)振動(dòng)影響因素，指出