壓電微壓傳感器.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文研制了一種新型的壓電微壓傳感器，它主要由敏感元件、內置前置放大器、塑料支架、墊圈、蓋板和外殼組成，敏感元件為單晶片結構。前置放大器為高輸入低輸出的電荷放大器，它將壓電晶片的高輸出阻抗轉換成低輸出阻抗，同時將晶片探測到的信號放大。 對壓電微壓傳感器的敏感元件進行了有限元分析。按照敏感元件的實際尺寸，進行建模，計算仿真元件的振動模態(tài)，求解元件的諧振頻率。同時，使用阻抗分析儀對敏感元件的諧振頻率進行了實驗測試，并與有限元計算結果進

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