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文檔簡介
1、傳感器技術(shù)是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志，它與通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)構(gòu)成現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱。在各種傳感器中，硅壓力傳感器是應(yīng)用最為廣泛的一種。目前國內(nèi)市場上硅微壓力傳感器的量程都在1kPa以上，更低量程的產(chǎn)品要依靠國外進(jìn)口，因此進(jìn)行更低量程的硅微微壓傳感器的研究，實(shí)現(xiàn)相關(guān)技術(shù)攻關(guān)對于促進(jìn)硅微壓力傳感器技術(shù)提高和相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有著實(shí)際意義。針對國內(nèi)外在硅微型壓阻式壓力傳感器上的研究進(jìn)展和產(chǎn)業(yè)化情況，從復(fù)合彈性元件的設(shè)計(jì)、芯片微加工工藝、
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