基于機器視覺的光波導(dǎo)與陣列光纖對準技術(shù)研究.pdf

1、平面光波導(dǎo)器件以其結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、抗干擾能力強、性能一致性好、穩(wěn)定可靠、便于自動化生產(chǎn)等突出優(yōu)勢，成為目前光電子器件發(fā)展的前沿?zé)狳c。發(fā)展至今，封裝恰恰是限制平面光波導(dǎo)器件發(fā)展和大量應(yīng)用的瓶頸，而對準技術(shù)正是封裝過程的關(guān)鍵。
　　 針對現(xiàn)有的封裝中粗對準方法對夾具精度、平臺重復(fù)精度要求高，對器件的制作誤差敏感等問題，采用了一種機器視覺與柵格掃描相結(jié)合的粗對準方法。
　　 圖像的采集是視覺系統(tǒng)任務(wù)實現(xiàn)的基礎(chǔ)。為了精確地觀察

2、到陣列光纖與波導(dǎo)芯片的關(guān)鍵特征，本文構(gòu)建了兩個相機正交的機器視覺系統(tǒng)，并精心完成了相機、鏡頭等主要元件的選型和照明方法的確定。
　　 介紹了相機成像模型和現(xiàn)有的標定技術(shù)，設(shè)計了一種快速、有效的標定方法，直接獲得圖像中尺寸的像素單位表示向?qū)嶋H所需的長度單位表示的轉(zhuǎn)換關(guān)系，即物面分辨率。該方法確保了視覺系統(tǒng)穩(wěn)定性與精度。
　　 設(shè)計了一種基于兩點的直線段擬合算法，并且對算法的精度進行了詳細的分析。與Hough和最小二乘(LS