聲懸浮拋光裝置研制及磨粒流場研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁,還剩81頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、納米力學(xué)性能是研究納米材料、器件與結(jié)構(gòu)的重要參數(shù)之一,已成為納米技術(shù)的重要研究內(nèi)容。隨著微電子、信息、智能系統(tǒng)等逐步向微型化發(fā)展、納米器件的廣泛應(yīng)用、納米系統(tǒng)性能的深入研究,都迫切需要納米力學(xué)來提供可靠性設(shè)計的理論基礎(chǔ)。因此高質(zhì)量,無污染納米力學(xué)試樣的制備成為亟待解決的難題。
   為此本文以制備高質(zhì)量的納米力學(xué)試樣為目的,采取了一種全新的以聲懸浮為基礎(chǔ)的拋光方法,經(jīng)過聲懸浮拋光的試樣表面粗糙度達(dá)到0.287nm,且表面無腐蝕,

2、比傳統(tǒng)拋光方法制備的試樣質(zhì)量要高,損傷層有所降低。本文主要的研究內(nèi)容有:
   1.根據(jù)理論分析設(shè)計了一套聲懸浮拋光實驗平臺,包括超聲波發(fā)生系統(tǒng)、懸浮拋光容器以及機(jī)架結(jié)構(gòu)部分。選擇了超聲波換能器種類以及結(jié)構(gòu),根據(jù)超聲頻率以及波長設(shè)計了超聲變幅桿。并通過ANSYS模態(tài)分析驗證所選換能器以及變幅桿的可行性。
   2.根據(jù)研制的聲懸浮拋光裝置,對拋光容器內(nèi)的磨粒流場進(jìn)行研究,并對磨料粒子沖蝕工件表面的能量進(jìn)行研究,建立磨料沖

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論