聲懸浮拋光磨粒流場分析及試驗(yàn)研究.pdf

1、納米力學(xué)是研究納米器件、材料與結(jié)構(gòu)的重要參數(shù)，已成為納米技術(shù)的重要研究內(nèi)容。美國政府報(bào)告中提出有關(guān)納米技術(shù)的三項(xiàng)光輝前景中有兩項(xiàng)與納米力學(xué)息息相關(guān)。納米試樣的機(jī)械測量是納米力學(xué)測量的重要組成部分，可通過納米壓痕、劃痕測量獲得相應(yīng)的納米力學(xué)參數(shù)，而高質(zhì)量的納米試樣是測量的物質(zhì)基礎(chǔ)。
　　 為此本文以制備高質(zhì)量的納米力學(xué)試樣為目標(biāo)，探索了一種全新聲懸浮拋光方法，經(jīng)過聲懸浮拋光后的鎢鋼試樣表面粗糙度從40nm(1300×940μm)降

2、到8.99nm(1300×940μm)，且表面無腐蝕。本文主要的研究內(nèi)容有:
　　 1.設(shè)計(jì)制作了一套聲懸浮拋光裝置，主要包括超聲波發(fā)生器、拋光容器以及工件安裝夾具，選擇了矩形換能器陣作為超聲波發(fā)射端。
　　 2.根據(jù)研制的聲懸浮拋光裝置，對拋光容器內(nèi)的聲壓場進(jìn)行研究。通過Matlab進(jìn)行數(shù)值仿真，并通過染色法、水聽器法與仿真結(jié)果作比較。對比了自由面反射端、剛性壁反射端、聲懸浮反射端對拋光裝置內(nèi)聲壓場影響，優(yōu)化了聲懸浮拋