多孔硅氣敏特性研究.pdf_第1頁(yè)
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1、多孔硅材料具有制備工藝簡(jiǎn)單、成本低、易于集成化、對(duì)環(huán)境污染小等特點(diǎn)，可以用于檢測(cè)各類(lèi)氧化性氣體（如NO2）和還原性氣體（如CO），是目前熱門(mén)的研究氣敏材料之一，其中提高多孔硅表面硅排列的均勻度是提高多孔硅材料靈敏度的主要途徑。本文采用雙槽電化學(xué)法制備多孔硅，并對(duì)制備的多孔硅表面形貌進(jìn)行分析，研究了多孔硅層對(duì)乙醇?xì)怏w氣敏特性的影響，簡(jiǎn)要分析了其氣敏機(jī)理，得到下列結(jié)果:
　　1.利用自制雙槽電化學(xué)腐蝕法成功的制備納米級(jí)孔徑的多孔硅層。

2、分析表明:在高電阻率1-10Ω·cm和低電阻率0.001-0.0016Ω·cm硅片上制備的多孔硅，孔隙率隨著電流密度的增加呈現(xiàn)先增加后減小的特點(diǎn)，且在電流密度40mA/cm2時(shí)孔隙率得到最大。電阻率0.01-0.02Ω·cm的硅片上制備的多孔硅，孔隙率隨著電流密度增加而增大。
　　2.分別對(duì)三組多孔硅表面進(jìn)行多孔硅形貌分析。分析表明:電阻率0.01-0.02Ω·cm的硅片上制備的多孔硅比其他兩組均勻性更好，孔徑較小，孔深較深。在4

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