多孔硅基濕敏傳感器的制作與性能研究.pdf

1、隨著濕度在人們?nèi)粘Ｉ钪衅鹬絹?lái)越重要的作用,濕度信息越來(lái)越受到人們的關(guān)注。測(cè)量精度高、靈敏度高、溫度系數(shù)小、穩(wěn)定性好、使用壽命長(zhǎng)、響應(yīng)速度快、抗腐蝕、制造工藝簡(jiǎn)單、易于批量生產(chǎn)、成本低等性能是理想的濕敏傳感器的基本要求,并且適于在寬溫、濕范圍內(nèi)使用。
　　 由于濕敏器件應(yīng)用領(lǐng)域不同,對(duì)濕度傳感器的技術(shù)要求也不同。從制造角度看,同是濕度傳感器,由于材料、結(jié)構(gòu)不同,工藝不同,其性能和技術(shù)指標(biāo)有很大差異。本文以多孔硅作為研究材料,分

2、析了其感濕機(jī)理,從電容角度展開(kāi)研究,首先制備了多孔硅并對(duì)多孔硅的基本特性進(jìn)行研究。而后以多孔硅作為感濕介質(zhì)制作了電容式多孔硅濕度傳感器,并對(duì)傳感器的性能進(jìn)行測(cè)試。對(duì)濕度傳感器的性能進(jìn)行測(cè)試,最終得到了(80mA／cm2,30min)和(40mA／cm2,20min)條件下(此條件為多孔硅的腐蝕生長(zhǎng)條件),得出在不同的濕度變化時(shí),傳感器的靈敏度曲線,這些數(shù)據(jù)將對(duì)我們的研究有很好的指導(dǎo)作用。完成了濕度信號(hào)采集電路及顯示電路的設(shè)計(jì),將制作的電