外延設備硅片傳輸控制軟件研發(fā).pdf

1、集成電路是電子信息產(chǎn)業(yè)的重要基礎，IC制造裝備作為其技術先導，是信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的支柱。據(jù)統(tǒng)計，硅外延片銷量占全球整體硅片市場的份額超過30％，并且其需求量呈現(xiàn)出持續(xù)上升的態(tài)勢，國內(nèi)對硅外延片的需求增速則更為迅猛，需求迫切。國外，200mm、300mm的硅外延片已成主流;而國內(nèi)能制造的硅外延片主要為100-150mm，對200mm及以上尺寸的硅外延片制造則不具能力，只能依賴進口。
　　 硅片傳輸控制軟件是硅外延片生產(chǎn)制造的依托，軟件

2、質(zhì)量的高低直接影響著硅外延片的質(zhì)量。目前，國內(nèi)擁有對硅片傳輸機器人系統(tǒng)或硅片預對準系統(tǒng)的研發(fā)，但不管是硅片傳輸機器人系統(tǒng)還是硅片預對準系統(tǒng)都只是硅片傳輸控制系統(tǒng)的一個子系統(tǒng)，本文將著重對整個硅片傳輸控制系統(tǒng)進行研究，開發(fā)出符合要求的外研設備硅片傳輸控制軟件。
　　 首先，本文采用分層模塊化的設計方法對外研設備硅片傳輸控制軟件進行設計，以滿足軟件的擴展性、易用性，減小軟件的出錯率，提高軟件質(zhì)量;其次，本文利用有限狀態(tài)機原理設計軟件