硅外延設備監(jiān)控系統(tǒng)軟件設計與開發(fā).pdf

1、IC制造是提升國民經(jīng)濟與實現(xiàn)電子信息現(xiàn)代化的高新產(chǎn)業(yè)之一。IC制造過程一般需要切片、外延、淀積、光刻、離子注入等多個工藝制造過程協(xié)同完成。而硅外延設備作為IC制造工藝的前端工藝裝備,其設備生產(chǎn)的產(chǎn)品質量直接影響著后續(xù)工藝設備的產(chǎn)品質量,所以對硅外延工藝過程進行有效監(jiān)控具有著重要的意義。
　　硅外延工藝過程是一個需要對多種氣體(如H2,HCL,SiH4等)進行通斷控制,并且在其他輔助設備的協(xié)同控制下而完成的一個復雜的工藝過程。而在工

2、藝過程中某一單元設備的不良參數(shù)處理不及時將有可能導致硅外延工藝過程的失敗,影響企業(yè)效益。另一方面,在硅外延工藝過程中伴隨著易燃、易爆、有毒等危險氣體的摻雜,如果對危險氣體的泄漏不進行及時控制,有可能影響設備安全與人員的安全,從而造成經(jīng)濟損失。
　　本文以硅外延設備為研究對象,從硅外延設備的具體需求出發(fā),首先介紹了本文研究的硅外延設備的功能結構組成,其次分析了硅外延設備監(jiān)控軟件的整體功能需求與具體的詳細功能需求。并根據(jù)硅外延設備監(jiān)控

3、軟件功能的分解,以及從減少模塊間的耦合性、提升軟件的維護性方面考慮,建立了硅外延設備監(jiān)控軟件的整體功能模型、模塊間的關聯(lián)模型、數(shù)據(jù)流模型等,設計了組件之間和模塊之間的調用關系。最后,從監(jiān)控軟件對數(shù)據(jù)收集的完整性需求考慮,設計了動態(tài)的數(shù)據(jù)緩沖隊列;從硅外延設備數(shù)據(jù)組織合理性的需求考慮,設計了硅外延設備數(shù)據(jù)的組織結構;從硅外延設備界面信息顯示的實用性需求考慮,設計了基于觀察者模式的界面更新方法,并從軟件的易維護的考慮出發(fā),對觀察者模式采用基