觸針輪廓儀傳感器校準(zhǔn)及誤差補(bǔ)償.pdf

1、隨著先進(jìn)制造技術(shù)的發(fā)展，特別是表面加工技術(shù)的不斷提高，大量具有高精度表面的機(jī)械零件不斷出現(xiàn)，對(duì)零件進(jìn)行高精度、大范圍輪廓測(cè)量的需求也越發(fā)迫切。觸針式輪廓儀憑借測(cè)量范圍大、穩(wěn)定性高、對(duì)環(huán)境要求低等諸多優(yōu)點(diǎn)在表面輪廓測(cè)量領(lǐng)域被廣泛使用。研究表明，觸針式輪廓儀的測(cè)量精度主要受到傳感器非線性誤差、針尖磨損、導(dǎo)軌誤差等因素影響，本文圍繞傳感器的校準(zhǔn)和誤差補(bǔ)償展開研究，主要工作如下：
　　1）對(duì)觸針式輪廓儀傳感器非線性誤差及校準(zhǔn)方法進(jìn)行研究，

2、以標(biāo)準(zhǔn)球?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)件在輪廓儀上實(shí)施測(cè)量，利用最小二乘法將得到的測(cè)量輪廓向真實(shí)輪廓修正，得到傳感器的校準(zhǔn)函數(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)觸針輪廓儀傳感器的校準(zhǔn)。
　　2）對(duì)針尖磨損給輪廓測(cè)量帶來的影響進(jìn)行分析，研究了針心軌跡、針尖輪廓、被測(cè)輪廓三者之間的關(guān)系，并在此基礎(chǔ)上研究了針尖截面輪廓不為圓情況下被測(cè)輪廓重建算法；最后研究了針尖輪廓重建算法。這兩個(gè)算法完整解決了針尖磨損后被測(cè)輪廓的重建問題。
　　3）對(duì)導(dǎo)軌直線度誤差和安裝誤差對(duì)輪廓測(cè)量帶來的影響