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1、該文對(duì)現(xiàn)代激光干涉儀的特點(diǎn)和發(fā)展方向作了總結(jié)——共路干涉、移相(條紋掃描)及計(jì)算機(jī)條紋自動(dòng)處理,較系統(tǒng)地論述了利用激光雙焦偏振干涉系統(tǒng)測(cè)量表面微觀輪廓的技術(shù).論文從理論上分析了實(shí)際系統(tǒng)中存在的一個(gè)問(wèn)題:激光橢圓偏振化現(xiàn)象的產(chǎn)生.同時(shí),論文對(duì)于調(diào)相系統(tǒng)作了系統(tǒng)地論述和分析比較:分析了現(xiàn)有系統(tǒng)機(jī)械調(diào)相中存在的問(wèn)題,并作出了相應(yīng)的改進(jìn);對(duì)于實(shí)際應(yīng)用系統(tǒng)中出現(xiàn)的現(xiàn)象,從計(jì)算機(jī)仿真結(jié)果出發(fā)作出了相應(yīng)的解釋.對(duì)于用CCD傳感、圖象卡采集進(jìn)入計(jì)算機(jī)的
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